檢索結果：共8筆資料 檢索策略： "Lithography".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="微影製程"
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摘 要 科技的進步，對環境的汙染日趨嚴重，於工業界有毒氣體外洩的事件時有所聞；而在日常生活中，每到冬天常有一氧化碳中毒的事件發生，因此氣體感測器的發展倍受重視。氣體感測器除了廣泛運用於工業安全之外，…
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本實驗分為兩個部分，第一部份利用原子轉移自由基聚合(Atom Transfer Radical Polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓製備表面起始聚甲基丙烯酸N,N-二甲氨基乙酯(…
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本實驗使用原子轉移自由基聚合法（Atom transfer radical polymerization, ATRP）於圖案化矽晶圓表面進行表面起始聚合（Surface-initiated poly…
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在記憶體DRAM製造的過程中，透過微影製程技術將設計之光罩轉印至光阻為一項至關重要的技術，但隨著線寬持續微縮，193nm浸潤式微影製程上達到物理極限，必須透過解析度增強技術(Resolution E…
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由於極紫外光微影系統技術開發上仍有困難，無法立即取代現有生產線上ArF-193nm浸潤式微影系統微影製程生產，因此吸引許多研究者尋找改善方案，其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應…
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隨著現代積體電路的複雜度不斷增加與製程節點的演進，電路可製造性在現代微影(Lithography)製程中正遭遇許多困難。次級解析輔助特徵圖案(SRAF) 擺置與光學鄰近修正(OPC)等重要的解析度增…
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由於機器學習在各領域應用的崛起，機器學習已經廣泛的應用在圖像辨識、資料探勘、語音辨識與處理、搜尋引擎、醫學診斷、金融模型設計等，訓練機器學習模型模仿人類的經驗已經成為趨勢，並使用機器學習取代重複性高…